• +7(8412) 56-55-63
  • +7(8412) 56-27-81
  • +7(8412) 56-26-16
  • E-mail: info@niifi.ru
МЭМС МСТ-устройства и компоненты

МЭМС МСТ-устройства и компоненты

АО «НИИФИ» предлагает МЭМС-устройства, представляющие собой кремниевые чувствительные элементы, выполненные объемной микрообработкой кремния.

НИИФИ разрабатывает и производит МЭМС для датчиков физических величин: датчиков давлений, акселерометров, гироскопов, которые возможно использовать при работе в динамически меняющихся условиях.

Микромеханический модуль МЭМС - датчиков абсолютных давлений

Микромеханический модуль МЭМС - датчиков абсолютных давлений
Технические характеристики
Диапазон измерений, МПа 0-0,25…0-25
Диапазон рабочих температур, ºС -50…+120 (возможно до 400)
Сопротивление мостовой схемы, Ом 500-5000
Чувствительность, мВ/В до 25
Габариты модуля, мм 2,0х2,0х1,5 мм (могут уточняться по требованию заказчика)

Микромеханический модуль МЭМС-акселерометров

Микромеханический модуль МЭМС-акселерометров
Технические характеристики
Диапазон измерений линейных ускорений, м/с2 ±5,6…±1200
Частотный диапазон, Гц 0-256
Диапазон рабочих температур, ºС ±50
Габариты модуля, мм 5,0х6,0х2,3 (могут уточняться по требованию заказчика)

Микромеханический модуль МЭМС-гироскопов

Микромеханический модуль МЭМС-гироскопов
Технические характеристики
Диапазон измерений,о ±200
Температурный диапазон, ºС ±50
Габариты модуля, мм 10х13х3,6

Научная деятельность